微小型氣體質量流量計是基于成都雷宇測控科技有限公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳 質的依存關系，在其上、下游產生溫度變化而得到氣體的質量流量。

LY-MF4000系列氣體質量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列流量計均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)( MEMS) 流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。*的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對流量計的靈活配置與參數(shù)查詢。LY-MF4000具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能，允許用戶在現(xiàn)場調整或查詢流量計的參數(shù)。

微小型氣體質量流量計特點：

靈敏度高，有極小的始動流量；

傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了流量計的高精度計量；

在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高；各種連接方式，易于安裝與使用；

輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù) 據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓；     LED顯示瞬時流量和累積流量，允許現(xiàn)場用鍵盤配置流量計參數(shù)；

可記錄自上電以來瞬時流量的大值和小值，具有超量程指示功能：零點穩(wěn)定度高；

全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性；低功耗、低壓損；

響應速度快。