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七星流量計,氣體質量流量控制器(MFC)和氣體質量流量計(MFM)用于對氣體的質量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。
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